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純水・超純水対応の小型化熱交換器
半導体製造の現場で用いられる熱交換器には、小型であることが求められます。ですが一般に流通しているのは大型のものがほとんどで、熱伝導度を高めるにはサイズの増大とそれに伴う高価格化は避けられないものだったのです。
しかしMDIが扱うマイクロ熱交換器は、微細な製造技術と薄肉チューブとの組み合わせによって圧倒的な総括熱伝導率と小型化を実現しました。従来の装置では成し得なかった省スペース&ハイパフォーマンスが可能となったのです。
純水・超純水向けの従来装置の懸念点であったろう材溶出や強度不足、純水度の低下などを避けたいとお考えの企業・メーカー・研究開発施設の皆様はぜひご連絡ください。
純粋・超純水対応のマイクロ熱交換器のメリット
特殊設計で純水・超純水運転に対応
純水・超純水運転で最大限の性能を発揮させるため、チューブから専用設計しました。4000w/m2・k（at60℃/25℃）をたたき出し、テフロン熱交換器の約20倍近い性能と安定性を実現したのです。
半導体業界専用設計
水/純水向けに設計された内部構造で、海外に出荷しても容易にコピーができないMADE IN JAPAN設計。超純水運転における高効率を実現した、世界初の全チタンブリージング熱交換器です。
精密な設計・製造
全自動溶接機では溶接が不可能な極小固定管板部分の溶接を実現しました。この技術が半導体などの高レベル純水・超純水市場を支えています。
豊富なラインナップ
大型と小型の2種類を標準サイズとしてご用意しました。その他、別途サイズオーダーにも対応します。従来では不可能だったテフロン製以外での超純水熱交換器の厳しい耐環境性能と微細な温度のコントロールを両立します。
